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集成電路無塵車間需不需要加濕機

作者:CEO 時間:2023-01-26

信息摘要:集成電路無塵車間需不需要加濕機:集成電路無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。集成電路

集成電路無塵車間需不需要加濕機

集成電路無塵車間需不需要加濕機

  集成電路無塵車間需不需要加濕機:集成電路無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。集成電路制造對無塵車間環境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環境下,而化學機械研磨則只要求1000級的環境即可。

  可以說集成電路無塵車間在對環境的要求上達到極致,不光只是溫濕度上門有要求,而且對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。

  好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入,而且可以給生產提供安全可靠的保證?,F在很多集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統,這種循環系統的特色是整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成,由FFU提供循環空氣的動力,將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負壓。此外,還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域,包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

  在這個系統中,溫濕度的控制也被納入管理,由于潔凈空調系統的能耗占其中的30%以上,所以一個節能安全的溫濕度控制設備就非常重要了,特別是濕度控制,因此如何選擇好的濕度控制設備可以幫助無塵車間進行節能,可以更好的控制空氣濕度,這樣就不會出現境地灰塵,影響產品質量。

  濕度控制設備有很多,對于FFU循環系統來說可以選擇恒濕機,或者是加濕機,加濕機的節能效果很明顯,而且在防范靜電灰塵的功能上也不弱,所以它成為很多集成電路無塵車間在冬天使用控濕的首選,畢竟冬天空氣干燥,對集成電路生產很大,不得不防。安詩曼加濕機,采用超聲波霧化技術,加濕速度快,操作簡單方便,是集成電路無塵車間加濕防靜電的收選擇。

  

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